Ученые готовят жизнеспособный путь к 2-нм полупроводникам, используя модифицированную микроволновую печь

микроволновые полупроводники Корнелл
При производстве кремния для использования в производстве полупроводников производители должны легировать кремний фосфором, а затем отжигать смесь, чтобы получить материал, который можно превратить в рабочий микрочип. По мере того, как чипы становятся все меньше, требуется все больше и больше фосфора, и современные методы не могут вывести нас за пределы 3 нм, где TSMC в настоящее время производит новейшие чипы.
К счастью, исследователи из Корнельского университета придумали, как нагреть чипы таким образом, чтобы они превышали растворимость фосфора в кремнии при естественном равновесии. Идея впервые зародилась в TSMC, которая предположила, что микроволны могут быть использованы для активации избыточного фосфора, но не смогла реализовать метод с использованием микроволновых отжигов из-за «стоячих волн», искажающих постоянство операции.
микроволновая печь Корнельский университет Схема из бумаги, которую вы можете найти здесь .

TSMC сотрудничает с Инженерным колледжем Корнельского университета. Профессор-исследователь Джеймс Хван взял на себя задачу заставить микроволновый отжиг работать. Используя модифицированную кухонную микроволновую печь, он смог найти способ выборочного управления местом возникновения стоячих волн. Это позволяет правильно активировать фосфорные примеси без перегрева и повреждения кристаллической структуры кремния.

Это исследование имеет решающее значение для разработки более плотных нанолистовых транзисторов, которые TSMC уже заявила , что будет использовать на 2-нм техпроцессе. В отличие от передовых исследований, о которых вы время от времени читаете, это открытие появилось не раньше, чем через десять лет. Хванг говорит, что этот подход позволит TSMC и Samsung перейти на производство 2 нм (или 20 ангстрем) к 2025 году.

Источник (англ.)

Поставить оценку
Кофебрейкер | Интернет-журнал